日本CKD电磁阀

无需真空破坏阀
通过无正压的真空脱离，无需采取措施防止极小芯片被吹走。
无需繁琐地调整破坏压力、流量及定时。
不使用真空破坏阀，实现了精简化。

占用空间小化
与以往的带破坏单元相比，安装面积减少44％，重量减少53%，适用于制造装置的小型化。
即使在极小空间也可安装，装置设计的自由度更高。
通过轻量化，便于安装在装置可动部。

可配备压力传感器
单元中配备真空用压力传感器，外形更小巧。
负压检测也实现省空间。
采用U形卡销固定压力传感器，提高可维护性。

可安装真空用过滤器
配管过程中无需安装过滤器。
真空用过滤器采用快插式更换。

4F729-20-AC220V 
4F719-00-AC220V 
4F220-10-AC220V 
4F320-10-AC220V 
4KA210-06-DC24V 
4KA210-06-AC220V 
4KB229-00-DC24V 
4KB229-00-AC220V 
4KA219-00-DC24V 
4KA229-00-DC24V 
4F440-10-AC220V 
4F220-20-AC220V 
4F630-20-AC220V 
4KB210-06-DC24V 

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